電子廠潔凈室的除塵率要求

2025年04月25日 13:50:20人氣：96來源：蘇州源水凈化設備有限公司

　　電子廠潔凈室的除塵率要求主要取決于其潔凈度等級(如百級、千級、萬級、十萬級等)，而不同等級對空氣中顆粒物的容許濃度有嚴格規(guī)定。以下是關鍵標準及要求：

　　1. 潔凈度等級與顆粒物限制

　　- 百級潔凈室：每立方米空氣中≥0.5μm的粒子數≤3,500個，≥5μm的粒子數≤293個。

　　- 千級潔凈室：≥0.5μm的粒子數≤35,200個/m³，≥5μm的粒子數≤2,930個/m³。

　　- 萬級潔凈室：≥0.5μm的粒子數≤352,000個/m³，≥5μm的粒子數≤2,930個/m³。

　　- 十萬級潔凈室：≥0.5μm的粒子數≤3,500,000個/m³，≥5μm的粒子數≤20,000個/m³。

　　2. 除塵率要求

　　- 高效過濾器(HEPA/ULPA)：

　　潔凈室通常要求末端過濾器對≥0.3μm顆粒的過濾效率≥99.97%(HEPA)或≥99.999%(ULPA)，具體選擇取決于潔凈度等級。

　　- 整體系統(tǒng)效率：

　　通過初效、中效、高效三級過濾組合，綜合除塵率需確保達到對應潔凈度等級的顆粒物限值。例如，十萬級潔凈室的送風系統(tǒng)需將初始空氣中的顆粒物濃度降低至標準值的1/10,000以下。

　　3. 其他影響因素

　　- 氣流組織：單向流(層流)潔凈室的除塵效率高于非單向流(亂流)，需通過合理的氣流設計減少死角。

　　- 正壓控制：潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的壓差需≥10Pa，防止外部污染物進入。

　　- 靜電控制：電子廠潔凈室需維持濕度40%-60%，以減少靜電吸附顆粒。

　　4. 實際應用建議

　　- 對于高精密電子制造(如半導體)，通常要求千級或更高潔凈度，除塵率需接近100%。

　　- 動態(tài)環(huán)境下(如人員操作時)，需通過增加換氣次數(如十萬級換氣15-20次/小時)維持除塵效果。

　　總結

　　電子廠潔凈室的除塵率并非固定百分比，而是通過過濾系統(tǒng)、氣流設計和環(huán)境控制共同實現對應潔凈度等級的顆粒物限值。具體需根據生產工藝要求(如集成電路制程需百級，普通封裝可接受萬級)選擇匹配的凈化方案。

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