干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
 

　　干式螺桿真空泵運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機構(gòu)的作用(旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)變成直線運動)，使氣缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運動。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強，根據(jù)氣體壓強平衡的原理，被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過吸氣閥不斷地被抽進(jìn)左腔，此時正處于吸氣過程。當(dāng)活塞達(dá)到右位置時，氣缸左腔內(nèi)就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環(huán)。當(dāng)活塞在從左端向右端運動時，重復(fù)上述循環(huán)，直到被抽容器達(dá)到某一平衡壓力為止。
 

　　在干式螺桿真空泵中，吸氣閥和排氣閥是非常重要的部件且是易損部件，它們工作的好壞直接影響往復(fù)泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運行的可靠性。
 

　　目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大，真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面，大量的有油真空系統(tǒng)已經(jīng)被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的*的基礎(chǔ)產(chǎn)品。目前國外制藥精細(xì)化工行業(yè)干式螺桿真空泵占全部真空泵的60%左右，目前國內(nèi)在此行業(yè)只占到10%-20%，而且隨著環(huán)保形勢的嚴(yán)峻化，這一比例還在不斷上升。通過對真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證有些泵還出口國外得到國外用戶的認(rèn)可并受到好評應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。
 

　　液環(huán)泵
 

　　雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵。由于液環(huán)泵大部分是鑄件加工要求也不高屬勞動密集型產(chǎn)品所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢。
 

　　干泵
 

　　國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。據(jù)統(tǒng)計目前國產(chǎn)干式螺桿真空泵的應(yīng)用占比大約在10%-20%，隨著我國環(huán)保形勢日趨嚴(yán)峻，這一比例將在新建項目中將不斷擴(kuò)大。從沃爾姆干式螺桿真空泵的每年銷售數(shù)量上看，一直處于增長上升中。
 

　　干式螺桿真空泵國內(nèi)的研究還處在起始階段，很多技術(shù)難題還沒有解決。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)，降低排氣口的溫度，增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問題仍然很棘手，當(dāng)抽取一些活潑氣體時，由于排氣溫度高，安全性也是需要設(shè)計中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向，但其*的性能決定了它一定會在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機在行業(yè)內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。