電子超純水的氮封閥門(mén)優(yōu)化方案

【資料簡(jiǎn)介】

電子超純水的氮封閥門(mén)優(yōu)化方案本實(shí)用新型屬于超純水氮封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)。指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥(以下簡(jiǎn)稱(chēng)調(diào)壓閥),是一種無(wú)需外來(lái)能源，利用被控介質(zhì)自身能量作動(dòng)力源，引入指揮器的檢測(cè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，以控制調(diào)壓閥的閥芯位置，改變流經(jīng)閥門(mén)的介質(zhì)流量，使閥后壓力保持在恒定值。該閥的特點(diǎn):壓力設(shè)定值可在指揮器上實(shí)現(xiàn)，在運(yùn)行中可隨意調(diào)整,因而方便、快捷、省力；控制精度比一般調(diào)壓閥高一倍左右；減壓比大;設(shè)定壓力低等。

電子超純水的氮封閥門(mén)優(yōu)化方案背景技術(shù)：
在范圍內(nèi)，新材料不斷研發(fā)和進(jìn)步，對(duì)水的需求越來(lái)越高，同時(shí)，水資源日趨匱乏也是企業(yè)所面臨的現(xiàn)狀，因此，水技術(shù)市場(chǎng)的發(fā)展前景是*的。
純水和超純水的生產(chǎn)便是其中非常重要的組成部分。在電子半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工序中需要用到大量的超純水進(jìn)行沖洗，edi系統(tǒng)制取出的超純水需要進(jìn)行封存，不能與空氣接觸，否則空氣中的co2、o2和雜質(zhì)會(huì)因接觸水體而影響水質(zhì)。

一種純水系統(tǒng)的氮?dú)夤?jié)能裝置，包括純水箱，氮?dú)膺M(jìn)氣管及補(bǔ)水管，所述純水箱還通過(guò)水箱溢流管與水封桶的水箱連接管相連，還設(shè)置有進(jìn)水閥和液位計(jì)，其通過(guò)液位傳感器與純水箱外部的液位控制器相連接，達(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牧康哪康模ㄟ^(guò)在純水水箱中設(shè)置的氮封閥等氮封系統(tǒng)，使水箱內(nèi)氮?dú)獾臍庀嗫臻g壓力維持在2.5kpa左右，當(dāng)氣相空間壓力高于2.5kpa時(shí)，氮封閥關(guān)閉，停止氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)氣相空間壓力低于2.5kpa時(shí)，一種純水系統(tǒng)的氮?dú)夤?jié)能裝置，采用空氣減壓閥、電磁閥的設(shè)置，通過(guò)微調(diào)壓力表，用來(lái)檢測(cè)氮封水箱中的氮?dú)鈮毫Γ鶕?jù)氮封水箱氮?dú)鈮毫刂疲{(diào)節(jié)氮?dú)廨敵觥?br />調(diào)壓閥由指揮器、主閥、節(jié)流閥、過(guò)濾減壓器所組成(見(jiàn)圖一)。介質(zhì)由箭頭方向進(jìn)入閥體,經(jīng)閥芯、閥座節(jié)流后輸出。同時(shí)閥前介質(zhì)經(jīng)過(guò)濾減壓器過(guò)濾減壓后進(jìn)入指揮器閥體，經(jīng)指揮器調(diào)節(jié)后進(jìn)入主閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)上下膜室。閥后介質(zhì)經(jīng)接管引入指揮器檢測(cè)膜室，當(dāng)輸出壓力升高時(shí)，經(jīng)指揮器和節(jié)流閥作用關(guān)閉主閥,直到閥后壓力降低到設(shè)定值為止。同理，當(dāng)輸出壓力降低時(shí)，經(jīng)指揮器和節(jié)流閥作用開(kāi)啟主閥,直到閥后壓力上升到設(shè)定值為止。

規(guī) 格      型 號(hào)	薄膜式
用    途	調(diào)  節(jié)
膜片材質(zhì)	丁橡膠、氟橡膠、耐油橡膠
接    口	M16×1.5
作用方式	壓力升高閥門(mén)打開(kāi)、壓力升高閥門(mén)關(guān)閉
使用溫度	氣體：-20～+120℃
標(biāo)配閥門(mén)附件	取壓管(含取壓接頭)
可選閥門(mén)附件	取壓接管、截止閥、壓力表、法蘭、墊片及緊固件

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存，通過(guò)設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制，可根據(jù)外供泵的流量大小，控制比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，調(diào)節(jié)進(jìn)入氮封水箱的通道，終達(dá)到一個(gè)氮封水箱液位恒定的目的，達(dá)到節(jié)省高純氮?dú)獾哪康摹?/p>

本實(shí)用新型解決上述問(wèn)題的技術(shù)方案如下：
用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，包含有：
一純水產(chǎn)水裝置，用于制造純凈水；
一氮封水箱，用于承接、存放所述純水產(chǎn)水裝置所制造的純凈水；
一氮?dú)鈿庠矗糜谔峁┧龅馑鋵?shí)現(xiàn)氮封所需的氮?dú)猓?br />一外供管路，其上設(shè)置有至少一個(gè)外供泵，用于將所述氮封水箱內(nèi)的純凈水向外輸送；
一比例調(diào)節(jié)閥，設(shè)置于所述純水產(chǎn)水裝置與所述氮封水箱相連通的管路上，所述比例調(diào)節(jié)閥還與副容器相連通；
一plc控制系統(tǒng)，其將所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度輸出值與所述外供泵的流量輸出值相聯(lián)鎖。

所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度輸出值與所述外供泵的流量輸出值通過(guò)控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機(jī)，其一個(gè)控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個(gè)控制端與所述外供泵相連，當(dāng)所述外供泵的流量增大時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度增大（流向副容器的流量減小），當(dāng)所述外供泵的流量減小時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度減小（流向副容器的流量增大）。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱上設(shè)置有一液位計(jì)，所述液位計(jì)通過(guò)設(shè)置于所述氮封水箱內(nèi)的液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述plc控制系統(tǒng)將所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)相聯(lián)鎖。
所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過(guò)控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機(jī)，其一個(gè)控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個(gè)控制端與所述液位傳感器相連，當(dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度增大（流向副容器的流量減小），當(dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)降低時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度減小（流向副容器的流量增大）。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮?dú)鈿庠磁c所述氮封水箱相連通的管路上依次設(shè)置有減壓閥和氮封閥。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述比例調(diào)節(jié)閥為一個(gè)三通閥，分別與所述純水產(chǎn)水裝置、所述氮封水箱和所述副容器相連通。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述純水產(chǎn)水裝置為edi產(chǎn)水裝置。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述副容器為一級(jí)反滲透產(chǎn)水箱。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱的上部設(shè)置有水封管路，所述水封管路的出口與水封箱相連通。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱的頂部設(shè)置有呼吸閥。
作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述氮封水箱的底部設(shè)置有排放管路，所述排放管路連通有排放水箱。
綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果：
本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N用于電子超純水的氮封系統(tǒng)，用于edi系統(tǒng)制取的超純水的封存，通過(guò)設(shè)置比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度與外供泵的流量聯(lián)鎖控制，可根據(jù)外供泵的流量大小，控制比例調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，調(diào)節(jié)進(jìn)入氮封水箱的通道，終達(dá)到一個(gè)氮封水箱液位恒定的目的，達(dá)到節(jié)省高純氮?dú)獾哪康摹?/p>

安裝與維護(hù)
3.1安裝
Ø 安裝前應(yīng)檢查產(chǎn)品型號(hào)、規(guī)格是否符合要求，管道應(yīng)進(jìn)行清洗，清除焊渣與雜物等，閥門(mén)應(yīng)正立、垂直安裝在管道上，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體箭頭一致。如有可能應(yīng)設(shè)置旁通閥。
Ø 為確保調(diào)壓閥正常工作，在閥前應(yīng)設(shè)置過(guò)濾器、壓力表與手控閥，安裝圖見(jiàn)圖二。
3.2 使用
Ø 緩慢將調(diào)節(jié)閥前、后截止閥開(kāi)到大，此時(shí)因介質(zhì)引入調(diào)節(jié)閥，可觀察壓力表示值。
Ø 逐漸關(guān)閉旁通閥，打開(kāi)殼罩，并調(diào)整彈簧預(yù)緊力，直到壓力表示值達(dá)到工藝要求為止。
Ø 鎖緊螺母，蓋上殼罩。

3.2 維護(hù)保養(yǎng)
該裝置投入正常運(yùn)行后無(wú)需特殊維護(hù),但需定期對(duì)指揮器、節(jié)流閥和過(guò)濾減壓器進(jìn)行清洗,若出現(xiàn)故障，按表四進(jìn)行處理。所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度輸出值與所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)通過(guò)控制器相聯(lián)鎖，所述控制器可以為單片機(jī)，其一個(gè)控制端與所述比例調(diào)節(jié)閥相連，另一個(gè)控制端與所述液位傳感器相連，當(dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)升高時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度增大（流向一級(jí)反滲透產(chǎn)水箱的流量減小），當(dāng)所述液位傳感器輸出液位數(shù)據(jù)降低時(shí)，所述比例調(diào)節(jié)閥流通向所述氮封水箱的閥門(mén)開(kāi)度減小（流向一級(jí)反滲透產(chǎn)水箱的流量增大）。