太陽(yáng)誘電展出檢測(cè)靈敏度為1ppb的氣體傳感器

【資料簡(jiǎn)介】

太陽(yáng)誘電展出檢測(cè)靈敏度為1ppb的氣體傳感器 
         太陽(yáng)誘電開(kāi)發(fā)出檢測(cè)靈敏度為1ppb的氣體傳感器，并在2007年10月2日開(kāi)幕的“CEATEC JAPAN 2007”上展示。氣體傳感器在硅晶圓上形成介電膜，因其吸附氣體的特點(diǎn)太陽(yáng)誘電將其稱(chēng)為“納米級(jí)氣體傳感器”。介電膜本身尺寸極小，為80μm×500μm，便于實(shí)現(xiàn)傳感器整體的小型化。

　　關(guān)于用途，太陽(yáng)誘電首先考慮用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)氧氣殘留測(cè)定等生產(chǎn)線(xiàn)用途。目前，進(jìn)行ppb級(jí)的檢測(cè)于工廠(chǎng)設(shè)備安裝時(shí)使用分析設(shè)備來(lái)檢測(cè)殘留氣體的濃度。該公司認(rèn)為，今后隨著半導(dǎo)體工藝的微細(xì)化，必須提高在線(xiàn)氣體檢測(cè)精度，1ppb～數(shù)ppb的高檢測(cè)靈敏度傳感器的需求將增大。

　　此次開(kāi)發(fā)出的傳感器利用介電膜吸附氣體后，介電膜的電阻值出現(xiàn)變化，以此來(lái)檢測(cè)氣體。具體的檢測(cè)方法如下。在介電膜吸附欲檢測(cè)的氣體后，檢測(cè)介電膜的電阻值。然后，加熱介電膜使強(qiáng)介電體變化為正常介電體，放出氣體。之后再次使介電體吸附氣體，并測(cè)量電阻值恢復(fù)到之前的檢測(cè)值所需時(shí)間。由于氣體再次被介電體吸附的時(shí)間與氣體濃度成反比，所以可以測(cè)定氣體濃度。通過(guò)檢測(cè)氣體放出時(shí)的電阻值的時(shí)間變化，能夠?qū)崿F(xiàn)高檢測(cè)精度。過(guò)去的半導(dǎo)體氣體傳感器也是利用氣體吸附來(lái)檢測(cè)電阻值的變化，不過(guò)控制氣體的放出較難，檢測(cè)電阻值的時(shí)間變化也很難。

　　此次展示的傳感器的開(kāi)發(fā)為日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的2007年地區(qū)新建產(chǎn)業(yè)制造技術(shù)開(kāi)發(fā)費(fèi)用補(bǔ)助項(xiàng)目。目標(biāo)是09年供應(yīng)樣品。如果實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的話(huà)，估計(jì)包括檢測(cè)電路在內(nèi)的單價(jià)將控制在數(shù)萬(wàn)日元以?xún)?nèi)。