操作薄膜電阻測(cè)定儀正確方法

【資料簡(jiǎn)介】

薄膜電阻測(cè)定儀 型號(hào)：TD-SZT-2A
1．SZT-2A 主機(jī)采用的電路設(shè)計(jì)，所測(cè)數(shù)值更精、更快、更準(zhǔn)（一代為傳統(tǒng)式電路，缺點(diǎn)：體積大，速度慢，元器件繁多導(dǎo)致影響機(jī)器壽命）。
2．屏幕采用液晶顯示（一代為只有數(shù)碼管顯示）。
3．匹配電腦接口及軟件，讓操作簡(jiǎn)便明了化（可直接連接電腦，電腦進(jìn)行自動(dòng)運(yùn)算根據(jù)輸入厚度，自動(dòng)比照并修正系數(shù)，使被測(cè)結(jié)果更，數(shù)據(jù)可儲(chǔ)藏或刪除，利于使用方保存記錄）。
4．二代的測(cè)試架采用自動(dòng)傳感裝置，接近被測(cè)物體時(shí)實(shí)行自動(dòng)減速，避免了被測(cè)物體的損耗和探頭的磨損（于國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上任何一款同類產(chǎn)品的測(cè)試架，老一代為手動(dòng)）。 5. 本儀器測(cè)試電阻、電阻率、方塊電阻時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)為機(jī)器自帶自調(diào)，無(wú)需另外手工調(diào)整，省去了原儀器的諸多麻煩。
6. 本儀器的zui小分辨率為0.1mΩ
7．主機(jī)帶有手自一體功能
8．測(cè)試探頭為鎢針，市場(chǎng)上多為高速鋼針。
9．每次測(cè)量均有內(nèi)置計(jì)算機(jī)自動(dòng)進(jìn)行溫度補(bǔ)償及電壓電流矯正。
10．整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤ 2%（國(guó)內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% ）
11. 技術(shù)參數(shù)：
1)． 測(cè)量范圍：
電阻率：10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2)． 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直徑：5mm-130mm
長(zhǎng)度：≤400mm
3)． 測(cè)量方法：
軸向、斷面均可
4)． 顯示方式：41/2,數(shù)顯,性、過(guò)載自動(dòng)顯示，小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示。
5)． 恒流源：
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 誤差：±0.5%讀數(shù)±1個(gè)字
6).四探針測(cè)試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W
8) SZT-2A 分為帶電腦接口和不帶電腦接口的兩種，帶接口功能為當(dāng)硅片的厚度＜1mm時(shí)自動(dòng)修正讀數(shù)，使得測(cè)量出的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率為99%，被測(cè)試的數(shù)據(jù)自動(dòng)生成表格并可以打印，可以隨時(shí)保存和刪除.