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PECVD設備

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更新時間：2018-05-16 15:49:39瀏覽次數：2088次

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青島育豪微電子設備有限公司

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產品簡介

產品名稱：PECVD設備產品報價：面議

詳細介紹

設備主要特點

◆用工業微機對工藝時間,溫度,氣體流量,閥門動作,反應室壓力實現全自動控制.
◆采用進口壓力控制系統,閉環系統,穩定性高.
◆采用進口耐腐蝕不銹鋼管件,閥門,確保氣路氣密性.
◆具有完善的報警功能及安全互鎖裝置.
◆具有超高溫報警及欠溫報警,MFC報警,反應室壓力報警,RF報警,高壓空氣壓力報警,N2壓力報警.水流報警等。

類型

◆工藝過程*不受外界環境干擾，工藝質量*控；有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安全、環保。
◆裝片數量： 250片/每爐管
◆凈化臺潔凈度：100級（10000級廠房）
◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用日本導電或同類品牌，可在達到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。我公司推拉系統采用光杠傳動系統，本系統比絲杠傳動系統運行更平穩，避免了推拉舟長時間運行后由于絲杠變形引起的推拉舟的震動；防止突然斷電時，絲杠抱死，拖不出爐膛。

設備主要技術指標

◆ 溫度使用范圍：150～600℃

◆ 極限真空度：優于1Pa

◆ 壓力調節范圍：13～300Pa 連續可調，閉環控制

◆ 射頻電源： 400KHz連續可調

◆ 溫區長度（150～400℃）：1000mm

◆ 溫區穩定性（400℃）： ±2℃

◆ 溫區穩定性（＜400℃）： ±3℃

◆ 溫度梯度： 0～30℃/1000mm可調

◆ 淀積速率： 30nm/min

◆ 深層折射率： 1.9～2.2

◆ zui大可控升溫速度：15℃/min