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六通道高真空PECVD設備

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產品型號KJ-T1200-S60-6ZH-PE

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更新時間：2025-05-12 11:33:11瀏覽次數：72次

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鄭州科佳電爐有限公司

經營模式：生產廠家

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產品簡介

產品介紹:六通道高真空PECVD系統是一款由1200度管式爐，等離子射頻電源，分子泵高真空，六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統，加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究

詳細介紹

產品介紹:
六通道高真空PECVD系統是一款由1200度管式爐，等離子射頻電源，分子泵高真空，六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統，加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。

使用范圍：
該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。也可可應用于納米材料生長，石墨烯生成、金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復合薄膜等各種薄膜等，可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

技術參數：

產品名稱	六通道高真空PECVD系統(CE認證)
管式爐部分
產品型號	KJ-T1200-S60-6ZH-PE
爐管尺寸	Φ60mmX1400mm
爐管材質	石英管
加熱區	400mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	30段可編程序控溫
控溫精度	±1℃
溫控保護	具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率	0-20ºC/min ，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制）
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭	標配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好。
選配	輔助降溫風扇
真空系統部分
名稱	真空系統
主要參數	1.采用高真空分子泵組，極限真空度可達10-3pa 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連； 3.數字式真空顯示，其測量范圍為5×10-5- 1500mbar，測量精度高高
氣路系統部分
名稱	六路質量流量計
主要參數	六通道精密質量流量計：觸屏控制，數字顯示，自動控制。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC6：0-1000sccm可調 2.一個混氣罐 3.6個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制6種氣體； 4.進出氣口：6進1出流量控制：手動旋轉式調節連接方式：雙卡套連接
等離子電源部分
名稱	500W等離子電源
功率范圍	0-500W（連續可調）
工作頻率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	連續輸出
射頻輸出阻抗接口	N-type,female（50Ω）
功率穩定度	≤2W
反射功率	70W
電源保護設置	DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護
供電電壓/頻率	單相交流（187V-253V）50-60HZ
冷卻方式	風冷
整機尺寸	88X483X550 MM
整機重量	13.5KG
認證	、CE認證
售后服務	質保一年，終身保修（耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍）
更多規格可根據要求來定制

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。