在半導體制造和納米技術領域，對材料的純凈度有要求。微量金屬污染物的存在可能會嚴重影響產品的性能和可靠性。為此，日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金屬污染物回收器，專為硅晶片表面和側面的微量金屬污染物收集而設計，以提高分析效率和準確性。
設備功能
SC-9200微量金屬污染物回收器能夠收集附著在硅晶片表面和側面的微量金屬污染物，非常適合每天分析5至10個晶圓的需求。該設備具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風險，并減少工作人員之間分析準確性的差異。此外，該設備還取得了晶圓側面斜面復原以及晶圓表面親水性恢復技術。
技術規格
根據Nasgiken的信息，SC-9200的操作控制可以通過電腦完成，支架具的裝卸、采樣液的供給和回收均能自動進行，從而減少操作員引起的污染。設備外形尺寸為690×550×790mm，重量為55Kg，所需外部資源包括電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。
應用場景
SC-9200微量金屬污染物回收器主要應用于半導體制造過程中，對硅晶片進行表面和側面的微量金屬污染物分析。該設備適用于需要高精度和高效率分析的環境，如半導體制造廠、材料研究機構等。
結論
Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術，為半導體制造領域提供了一種創新的解決方案。通過減少人為污染和提高分析準確性，SC-9200有助于提高半導體產品的質量和可靠性。
