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廣東匯成真空科技股份有限公司
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真空室中，利用氣體放電或被蒸發物質部分離化，在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時，將蒸發物或反應物沉積在基片上，明顯改進了膜質量，而且還擴大了薄膜的應用范圍，薄膜附著力強，繞射性好，膜材廣泛。
大型板材管材真空鍍膜機工作原理是離子鍍在真空室中，利用氣體放電或被蒸發物質部分離化，在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時，將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來，不僅能明顯地改進了膜質量，而且還擴大了薄膜的應用范圍。其優點是薄膜附著力強，繞射性好，膜材廣泛等。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多弧離子鍍采用的是弧光放電，而并不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡單的說，多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源，通過靶與陽極殼體之間的弧光放電，使靶材蒸發，從而在空間中形成等離子體，對基體進行沉積。
應用范圍：可以鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜，也可鍍制合金膜或化合物，如TiN/TiAlN/CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機主要針對大面積五金工件鍍裝飾膜或者功能膜，適合于在不銹鋼板、不銹鋼管、不銹鋼門等工件表面鍍膜。
特點：
1.裝備低溫離子輔助源，無需加熱直接常溫冷鍍成膜，節能省電，提高產能。
2.此類設備真空室尺寸能實現 φ5000X10000MM（長）。
3.是在大型板材、管材上鍍制各類裝飾膜層及功能膜膜層的必選設備。
低溫離子輔助鍍膜源：
1、大面積離子放電，離化效應高, 提高結合強度，附著力特強。
2、離子分布均勻,大大地改善膜層的穩定性和均勻性。
3、離化效應好,不需加溫直接鍍制膜層,去掉傳統的加熱裝置，節電30%以上，鍍膜時間節省10%以上， 提高工效，實現低溫鍍膜。
4、發揮離化效應，無論是金屬鍍件、有色金屬制品還是非金屬鍍件直接鍍膜。
5、離化效應好,無論是不銹鋼制品還是各類有色金屬制品(如銅、鋁、鋅、鎂等)不需水鍍直接鍍制膜層。
6、是在大型板材、管材上鍍制各類裝飾膜層及功能膜膜層的必選設備。
| 型號 | HCCA-1800 | HCCA-2000 | HCCA-3000 | HCCA-2000 | HCCA-3000 | HCCA-4000 | HCCA-5000 |
| 真空室尺寸 | φ1800x2000 | φ2000x2000 | φ3000x3000 | φ2000x6000 | φ3000x6000 | φ4000x8000 | φ5000x10000 |
| 真空室機構 | 立式開門、吊裝或臥室推車結構配置抽氣系統及水冷系統 | ||||||
| 真空機組 | 機械泵＋羅茨泵＋擴散泵/分子泵＋維持泵 | ||||||
| 真空測量系統 | 一臺皮拉尼（MKS） 一臺冷陰極（MKS）一臺薄膜規（MKS） | ||||||
| 鍍膜系統 | 電弧蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源 | ||||||
| 充氣系統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
| 電源類型 | 直流電源、中頻電源、脈沖電源（偏壓電源、弧電源） | ||||||
| 控制方式 | 手動或 全自動 | 手動或 全自動 | 手動或 全自動 | 手動或 全自動 | 手動或 全自動 | 手動或 全自動 | 手動或 全自動 |
| 極限真空指標 | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa |
| 電弧源 | 22臺-28臺 | 22臺-28臺 | 26臺-32臺 | 26臺-32臺 | 32臺-48臺 | 32臺-48臺 | 32臺-48臺 |
| 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | |
| 偏壓電源 | 60KW/臺 | 60KW/臺 | 70KW/臺 | 70KW/臺 | 80KW/臺 | 80KW/臺 | 100KW/臺 |
| 磁控電源 | —— | —— | —— | —— | —— | —— | —— |
| 工作轉動方式 | 多軸行星式公自轉、變頻調速（可控可調） | ||||||
| 工作烘烤溫度 | 常溫-至450℃可控可調（PID溫控） | ||||||
| 工藝氣體 | 3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統選配自動加氣系統 | ||||||
| 氬氣、氮氣、氧氣、乙炔等 | |||||||
| 冷卻方式 | 水冷卻循環方式，另配工業冷卻水塔或工業冷水機（制冷機）或深冷系統。（客戶提供） | ||||||
| 控制方式 | PLC+觸摸屏操作或計算機控制，手動、半自動、自動方式 | ||||||
| 供給指標 | 氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa | ||||||
| 報警及保護 | 對泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警、并執行相應保護措施及電氣聯鎖功能 | ||||||
| 整體總功率 | 165-185KW | 185-200KW | 200-225KW | 225-245KW | 225-245KW | 265-300KW | 265-300KW |
| 輸出頻率 | 電壓380V±5%，頻率50HZ（可根據客戶國家用電標準配置） | ||||||
| 設備占地面積 | 25～55㎡ | 35～55㎡ | 35～55㎡ | 45～55㎡ | 45～55㎡ | 55～75㎡ | 55～75㎡ |
| 備注 | 以上設備參數僅做參考，具體均按客戶實際工藝要求設計定做 | ||||||
應用范圍：可以鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜，也可鍍制合金膜或化合物，如TiN/TiAlN/CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機主要針對大面積五金工件鍍裝飾膜或者功能膜，適合于在不銹鋼板、不銹鋼管、不銹鋼門等工件表面鍍膜。
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