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反應離子腐蝕技術是一種各向異性很強、選擇性高的干法腐蝕技術。它是在真空系統中利用分子氣體等離子來進行刻蝕的,利用了離子誘導化學反應來實現各向異性刻蝕,即是利用離...
SENTECH儀器(德國)有限公司是國際主流的半導體設備商,研發、制造和銷售的薄膜測量儀器PECVD和等離子工藝設備.
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