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當(dāng)前位置:北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>鍍膜設(shè)備>>化學(xué)氣相沉積
是一種在沉積腔室利用輝光放電使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法
SI 500 PPD是電容平板式PECVD等離子沉積設(shè)備,主要用于SiO2,SiOxNy,SiNy,a-Si,SiC薄膜的沉積 。適用于2“--8“樣片的薄膜沉...
SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備,利用ICP高密度等離子源來(lái)沉積電介質(zhì)薄膜。可在極低溫度下( 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, S...
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