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當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>電子束曝光系統(tǒng)
pharos310曝光是利用電子束在涂有感光膠的晶片上直接描畫(huà)或投影復(fù)印圖形的技術(shù)，它的特點(diǎn)是分辨率高、圖形產(chǎn)生與修改容易、制作周期短。其中掃描曝光系統(tǒng)是電子束...
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