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瑞士高分辨深紫外光刻機

參   考   價: 20

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協議為準

產品型號PhableR

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2025-05-13 09:38:44瀏覽次數:78次

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產地 進口
PHABLE設備基于Eulitha采用的位移塔爾博特光刻(DTL)技術,通過低成本的光刻系統提供高分辨率光刻。DTL克服了傳統光刻中衍射的局限性,可曝光出質量優異的亞微米周期圖案。非接觸式曝光可同時保護掩模版和晶圓,無聚焦成像技術可實現在非平面基材和厚光刻膠上進行均勻曝光。

PhableR具備以低成本光刻系統曝光高分辨率周期性結構的能力。它類似于傳統的紫外曝光機,將涂有光刻膠的晶圓接近掩模版,然后用一束紫外深紫外光照射。由于Eulitha的突破性PHABLE曝光技術,分辨率不再受到不希望出現的衍射效應的限制。如亞微米周期線性光柵和二維圖案等結構(如六方和四方晶格曝光),均具有高均勻性和保真度。

PhableR 100 DUV光刻機是一款針對科研和研發的基礎手動機臺。對于納米周期性結構,不需要復雜的工藝過程或經驗,就可以制作大面積,均勻性和重復性好的一維、二維光柵結構。有關設備和服務的一些特點:

1. 設備操作簡單

2. 與前后道工藝和配套設備兼容性性好


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應用廣泛,包括:

  • 學術(R&D)

  • XR (AR / VR /MR)

  • 光電子學

  • 光學元件

  • 生物/醫學

  • 色彩/視覺效果

  • 光刻技術服務

瑞士高分辨深紫外光刻機

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