當(dāng)前位置：蘇州芯矽電子科技有限公司>>槽式清洗機(jī)>>最終清洗機(jī) 確保無(wú)殘留污染物

最終清洗機(jī) 確保無(wú)殘留污染物

返回列表頁(yè)

參考價(jià): ￥ 10000

訂貨量: ≥1 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地蘇州市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：芯矽電子查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-05-19 16:21:46瀏覽次數(shù)：60次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  槽式清洗機(jī)

全部產(chǎn)品列表

  其他品牌

蘇州芯矽電子科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：38條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：芯矽電子（客服）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

非標(biāo)定制	根據(jù)客戶需求定制

最終清洗機(jī)是半導(dǎo)體制程中確保晶圓/爐管表面納米級(jí)潔凈的關(guān)鍵設(shè)備，專為去除化學(xué)殘留、顆粒及有機(jī)物設(shè)計(jì)。采用高純度去離子水配合兆聲波震蕩，實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷清洗；集成離心干燥或真空干燥，避免水痕殘留。支持Class 10級(jí)潔凈環(huán)境，顆粒去除率＞99.9%。

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述

最終清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造工藝中用于去除晶圓、石英爐管或陶瓷部件表面化學(xué)殘留、顆粒及有機(jī)物的核心設(shè)備，尤其在擴(kuò)散、氧化、光刻等工序后道處理中至關(guān)重要。其核心目標(biāo)是通過(guò)高潔凈度清洗與干燥技術(shù)，確保工件表面達(dá)到納米級(jí)（Class 10級(jí)）潔凈標(biāo)準(zhǔn)，避免污染后續(xù)制程，提升芯片良率與器件可靠性。

二、核心技術(shù)參數(shù)

清洗工藝

介質(zhì)：高純度去離子水（DI水，電阻率≥18.2MΩ·cm），可選SC-1溶液（NH?OH/H?O?）或稀HF輔助。

兆聲波：頻率1-3MHz，功率密度5-15W/cm2，精準(zhǔn)剝離微小顆粒（＞0.1μm）。

溫度控制：常溫~80℃（可調(diào)±0.5℃），適配不同污染物溶解需求。

干燥技術(shù)

離心干燥：轉(zhuǎn)速0-2000rpm，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)甩干水分，避免接觸式污染。

真空干燥：腔內(nèi)真空度≤10Pa，露點(diǎn)控制≤-40℃，防止水痕殘留。

兼容性

工件尺寸：支持2-12英寸晶圓、直徑50-300mm石英/陶瓷爐管。

傳輸方式：臥式或立式自動(dòng)化機(jī)械臂，定位精度±0.1mm，避免磕碰損傷。

潔凈度控制