一、產品概述
水平式爐管清洗機是專為半導體、光伏、LED等行業設計的清洗設備，針對高溫爐管（如石英、碳化硅、石墨）內壁的氧化物、金屬顆粒、有機物殘留等污染物，提供自動化、高精度的清洗解決方案。其水平布局設計優化了長管件（長度可達2米以上）的清洗均勻性，避免傳統垂直清洗易導致的液體滯留或局部腐蝕問題，廣泛應用于擴散爐、氧化爐、退火爐等關鍵設備的維護，確保爐管壽命及工藝穩定性。
二、核心技術與原理
多模式復合清洗技術
高壓噴淋：通過高精度噴嘴陣列，對爐管內壁進行360°全覆蓋沖刷，剝離松散附著的顆粒與厚層沉積物。
化學腐蝕：配置酸性/堿性清洗液（如HF、HNO?、NH?OH），溶解頑固氧化物（如SiO?）及金屬雜質（Fe、Al、Cu等），配合溫度控制（20~120℃）加速反應。
超聲波空化：兆聲波（1MHz以上）強化微米級顆粒的剝離，尤其適用于深孔、狹縫等復雜結構。
機械刷洗（可選）：軟質毛刷或海綿棒旋轉擦拭，去除頑固殘留，避免劃傷爐管表面。
智能化工藝控制
參數自適應：根據爐管材質（石英/SiC/石墨）、污染類型（顆粒/金屬/有機物）自動匹配清洗液濃度、溫度及時間。
實時監測：集成顆粒計數器、pH/ORP傳感器、濁度儀，動態調整清洗強度，確保污染物清除。
數據追溯：記錄每批次清洗參數（如流量、溫度曲線），生成清洗報告，滿足ISO/SEMI標準要求。
環保與安全設計
廢液閉環處理：化學液循環過濾系統減少耗材消耗，中和后排放符合環保標準。
惰性氣體保護（可選）：氮氣吹掃防止敏感材料（如石墨）氧化，支持易燃溶劑的安全使用。
防腐蝕結構：槽體采用PFA/PTFE涂層，閥門與泵體選用耐腐蝕材料（如哈氏合金），延長設備壽命。
三、核心優勢
高效均勻清洗
水平旋轉+往復運動設計，確保長爐管（如3米石英管）內壁覆蓋，潔凈度一致性達95%以上。
單次清洗周期＜40分鐘，較手工清洗效率提升5倍以上，支持24小時連續運行。
超高精度潔凈度
顆粒殘留＜5顆/cm2（≥0.1μm），金屬污染控制在ppb級（如Fe＜0.1ppb），滿足制程（如3nm芯片）對爐管純度的要求。
清洗后表面粗糙度Ra＜0.2μm，避免因劃痕導致晶圓沾污或熱場不均。
廣泛兼容性
適用管徑范圍50~400mm，長度0.5~3米，兼容石英、碳化硅、陶瓷等多種材質爐管。
支持定制化工藝：如低溫（40℃）清洗光敏材料爐管，或高溫（150℃）處理重污染石墨件。
四、應用場景
半導體制造：擴散爐、氧化爐石英爐管的周期性清洗，防止雜質擴散影響芯片電性能。
光伏行業：多晶硅還原爐碳化硅內襯的清潔，提升硅料純度與電池片轉換效率。
LED外延生長：MOCVD反應腔石英部件的維護，避免殘留物導致波長偏移或良率下降。
科研實驗：高校及研究所的長晶爐、CVD爐管清洗，滿足高精度實驗重復性需求。
