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蘇州芯矽電子科技有限公司


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片盒清洗機

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參   考   價: 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式:芯矽電子查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-05-20 13:49:38瀏覽次數(shù):67次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:38條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:芯矽電子 (客服)

產(chǎn)品簡介
加工定制 非標定制 根據(jù)客戶需求定制

片盒清洗機是半導(dǎo)體制造中用于清潔晶圓承載盒(如FOUP)的專用設(shè)備,旨在去除片盒表面的顆粒、有機物及工藝殘留物,確保晶圓傳輸過程中的潔凈度。其核心功能包括自動化清洗、干燥和顆粒檢測,通常采用超聲波震蕩、高壓噴淋或化學濕法結(jié)合物理刷洗技術(shù),有效清除附著的污染物。設(shè)備設(shè)計符合ISO Class 5及以上潔凈標準,支持真空吸附固定片盒以防止二次污染。

詳細介紹

片盒清洗機是半導(dǎo)體制造中用于清潔晶圓承載盒(如FOUP,F(xiàn)ront Opening Unified Pod)的專用設(shè)備,主要針對光刻、蝕刻、沉積等工藝后片盒表面附著的顆粒、有機物、金屬殘留及工藝副產(chǎn)物進行高效清除,以確保晶圓傳輸過程中的潔凈度和良品率。以下是關(guān)于片盒清洗機的詳細介紹:

1. 核心功能與作用

污染物清除:
片盒在反復(fù)使用中會吸附環(huán)境顆粒、光刻膠殘留、蝕刻副產(chǎn)物(如聚合物)或金屬污染(如銅、鋁氧化物),這些污染物可能轉(zhuǎn)移到晶圓表面,導(dǎo)致缺陷或良率下降。清洗機通過物理或化學手段去除此類污染物。

潔凈度保障:
清洗后片盒的潔凈度需達到ISO Class 5或更高標準(顆粒尺寸≥0.1μm),避免對后續(xù)制程(如光刻、薄膜沉積)造成污染。

工藝兼容性:
適用于不同材質(zhì)的片盒(如塑料、金屬復(fù)合材料),并支持多種規(guī)格(如SMIF pod、FOSB等)。

2. 技術(shù)原理與清洗方式

物理清洗:

超聲波清洗:利用高頻振動剝離顆粒和薄膜殘留,適用于去除亞微米級顆粒。

高壓噴淋/刷洗:通過高速水流或軟質(zhì)刷毛去除頑固污染物,常用于金屬片盒。

真空吸附固定:清洗過程中固定片盒,防止震動導(dǎo)致二次污染。

化學清洗:

使用酸性或堿性溶液溶解金屬氧化物、有機物(如光刻膠),配合去離子水沖洗去除化學殘留。

部分機型集成濕法與干法(如等離子清洗)組合工藝,提升清潔效率。

干燥技術(shù):

采用離心旋轉(zhuǎn)、氮氣吹掃或加熱烘干,避免自然干燥導(dǎo)致的顆粒沉降或水痕殘留。

3. 設(shè)備結(jié)構(gòu)與關(guān)鍵組件

核心模塊:

清洗腔體:耐腐蝕設(shè)計(如PFA涂層、不銹鋼材質(zhì)),支持多槽位分段清洗(預(yù)洗、主洗、漂洗)。

傳動系統(tǒng):自動化機械臂或傳送帶實現(xiàn)片盒進出料,兼容SMIF(Smart Multiple Interface Pod)接口。

顆粒檢測單元:集成激光粒子計數(shù)器或光學顯微鏡,實時監(jiān)測清洗后片盒表面的顆粒數(shù)量。

廢液處理系統(tǒng):配備過濾、中和裝置,確保化學廢液達標排放。

控制系統(tǒng):

觸摸屏界面支持參數(shù)設(shè)定(時間、溫度、轉(zhuǎn)速)、工藝存儲及故障報警。

部分機型搭載IoT功能,實現(xiàn)遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯。

關(guān)鍵詞:光學顯微鏡

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